В статье обсуждается новый метод трехмерной реконструкции нано- и микрорельефа по их разнофокусным РЭМ-стереоизображениям. Этот метод реализуется с помощью специализированного модуля программного обеспечения "STIMAN", разработанного авторами. Описанный метод также может использоваться для улучшения качества РЭМ-изображений поверхности твердых образцов за счет выравнивания их фокуса.

A new method of 3D reconstruction of the surface nano- and microrelief of solids on their diverse focused SEM-stereoimages have been discussed in the paper. This method have been realized with the specialized module of the software "STIMAN". The method described above can also be used to improve the quality of the surface SEM-images of solids with equating their focus.